
En primer lloc, hem d'aclarir que la contaminació de la cambra de buit implica essencialment diverses impureses (vapor d'aigua, hidrocarburs, pols, greix, etc.) adherides a les parets de la cambra o a les superfícies dels components interns, formant fonts de gas i vapor que pertorben l'equilibri de l'ambient de buit. Aquests contaminants provenen d'una àmplia gamma de fonts, com ara el fluid de tall residual i el lubricant del processament de la peça, la suor de les mans durant el funcionament, la pols a l'aire i fins i tot les impureses introduïdes per la bomba de buit o els volàtils del material o substrat objectiu. Independentment del tipus de contaminació, l'estratègia de recuperació bàsica és "eliminar amb precisió les impureses sense danyar el material de la cambra i restaurar l'entorn de buit". Els diferents tipus de contaminació requereixen diferents mètodes de recuperació.
Mètode 1: Escalfament per "evaporar" les impureses - Mètode de neteja per calefacció al buit Aquest és el mètode de restauració més bàsic i utilitzat habitualment. El principi és molt senzill: igual que assecar la roba amb taques d'aigua, l'escalfament fa que les impureses volàtils (com el vapor d'aigua i els hidrocarburs suaus) s'evaporin a la superfície de la cavitat, i després s'eliminen mitjançant una bomba de buit, aconseguint així la neteja.
Mètode 2: "descomposició" ultraviolada de contaminants - Mètode de neteja per irradiació ultraviolada. Si la contaminació de la cavitat es compon principalment d'hidrocarburs (com ara oli lubricant residual i contaminants orgànics), el mètode de neteja per irradiació ultraviolada serà més eficient. A més, no té contacte ni -perjudica durant tot el procés, el que el fa especialment adequat per a escenaris amb requisits de materials extremadament elevats, com ara cavitats òptiques de precisió i cavitats de buit de semiconductors.
Mètode 3: Mètode de neteja de descàrrega de descontaminació "bombardeig" d'ions -. Per a cavitats d'alt buit i ultra-buit (com ara equips de recobriment al buit i cavitats d'implantació d'ions semiconductors), la contaminació sovint és més tossuda, especialment el carboni i els hidrocarburs a la superfície de les cavitats d'acer inoxidable, que són difícils d'eliminar amb mètodes habituals. En aquest cas, cal un mètode de neteja de descàrrega, que també és el mètode bàsic per a la restauració profunda de les cavitats al buit.
Mètode 4: eliminació d'impureses amb gas - Mètode de rentat de gas Si la cavitat només està lleugerament contaminada, o si es requereix una recuperació ràpida i escurçar el temps d'evacuació, la neteja amb gas és la millor opció. Es divideix en rentat de nitrogen i rentat de gas reactiu, que són adequats per a diferents escenaris.
S'ha de posar èmfasi en la protecció posterior a la-contaminació: després de la restauració, la cavitat s'ha de mantenir allunyada de l'oli i la pols. S'han de prendre mesures de protecció durant el funcionament i la bomba de buit s'ha de mantenir regularment per reduir la possibilitat de recontaminació. Això és especialment important en camps amb requisits de neteja extremadament elevats, com ara semiconductors i aeroespacial, on la neteja de la cavitat determina directament la vida útil i el rendiment del producte. La neteja de la cavitat del buit és la "línia de vida" dels processos de buit de gamma alta-. De fet, dominant aquests quatre mètodes de restauració bàsics i seleccionant de manera flexible el mètode adequat segons el grau de contaminació i el material de la cavitat, els problemes de contaminació de la cavitat es poden resoldre fàcilment, garantint un funcionament estable del sistema de buit. Amb el desenvolupament de la indústria de fabricació de precisió, la tecnologia de neteja al buit també s'actualitza constantment, des de la neteja tradicional de la calefacció fins a la neteja de plasma i descàrrega eficient i respectuosa amb el medi ambient. Cada cop hi ha més mètodes que garanteixen la neteja de les cavitats de buit, protegint la-fabricació de gamma alta.
Benvingut a visitar el nostre Tiktokhttps://www.tiktok.com/@vacuum.coatingmachine per a més vídeos de màquines, gràcies.
