La màquina de recobriment PVD de substrat ceràmic és un equipament clau per a la deposició de pel·lícula fina d’alta precisió de materials ceràmics (com l’òxid d’alumini, nitrur d’alumini, nitrur de silici, òxid de zirconi, etc.).
Utilitza tecnologia de deposició de vapor físic sota entorn de buit per formar diverses pel·lícules funcionals a la superfície dels substrats ceràmics.
Les màquines de recobriment PVD de substrat ceràmic s’han convertit en un equip de nucli indispensable per realitzar la funcionalització de la superfície de substrats ceràmics (conductors, tèrmics, soldables, d’enllaç, protector, òptic, etc.) en electrònica de gamma alta (alta puresa, densitat, adhesió forta, alta precisió).
Aplicacions:
Embalatge electrònic
Metalització en els titulars de xip LED, els substrats del mòdul de potència, les carcasses/substrats de dispositius RF de microones i els paquets de ceràmica de semiconductors.
Optoelectrònica
Metalització de substrats ceràmics/dissipadors de calor per a LED, làsers i fotodetectors.
Semiconductors
Interconnexions en capes estructurals del dispositiu MEMS, elèctrodes de sensor i capes d’aïllament ceràmic.
Electrònica de potència
Metalització superficial (Cu, AL) i barrera/capes protectores de substrats ceràmics (DCB, AMB) per a dispositius de potència com IGBT i MOSFET.
Circuits de pel·lícula prima
Resistències de pel·lícules primes, condensadors, inductors i línies de transmissió en substrats ceràmics per a circuits integrats híbrids i circuits d'ona mil·límetre de microones.
Sensors
Elèctrodes funcionals i els conductes de diversos sensors de substrat ceràmic (pressió, temperatura, gas).
Aeroespacial i defensa
Alta fiabilitat, components electrònics resistents al medi ambient i parts ceràmiques.
Etiquetes populars: Màquina de recobriment de ceràmica PVD, fabricants de màquines de recobriment de ceràmica de ceràmica, proveïdors, fàbrica, fàbrica
