Molts clients es confonen a l'hora de comprarmàquines de recobriment al buit. Saben quin tipus i model de màquina de recobriment necessiten, però no poden determinar quins estàndards ha de complir la màquina per considerar-la de bona qualitat i d'alta-qualitat. Aquesta confusió els porta a fer molts desviaments. A continuació, Puyuan Vacuum oferirà una introducció detallada als requisits tècnics bàsics que ha de complir una màquina de recobriment al buit.
Evaporació al buit, ionització de càtodes, polverització de magnetrons:
1.L'estructura de les canonades de buit i els components de segellat estàtic de l'equip han d'ajustar-se a GB/T6070.
2.Els mesuradors de buit s'han d'instal·lar a les canonades de baix-buit i alt-buit i a la cambra de recobriment al buit per mesurar el nivell de buit a cada lloc. Si es detecta interferència del camp elèctric, s'ha d'instal·lar un dispositiu de blindatge de camp elèctric al port de mesura.
3.Si la bomba principal utilitzada en l'equip de recobriment PVD és una bomba de difusió, s'ha d'instal·lar una trampa de vapor d'oli al costat d'entrada de la bomba.
4. La cambra de recobriment de l'equip de recobriment al buit ha d'estar equipada amb una finestra d'observació i un dispositiu deflector. La finestra d'observació ha de permetre l'observació de l'estat de treball de la font de deposició i altres components crítics.
5. El disseny de la font de deposició de revestiment d'ions hauria de maximitzar la taxa d'ionització durant el procés de recobriment, millorar la taxa d'utilització del material de recobriment, adaptar racionalment la potència de la font de deposició i organitzar racionalment la posició de la font de deposició dins de la cambra de buit.
6.El dispositiu de calefacció s'ha de disposar de manera racional; generalment, la disposició de l'estructura de l'escalfador ha de garantir un augment uniforme de la temperatura de la peça que s'està planejant.
7. El suport de la peça ha d'estar aïllat de la cambra de buit i el disseny del suport de la peça ha de garantir que la capa de pel·lícula de la peça sigui uniforme.
8. Les màquines de recobriment al buit iònic generalment haurien de tenir una tensió de polarització negativa de la peça de treball i una font d'alimentació de bombardeig iònic. La font d'alimentació de bombardeig iònic hauria de tenir un dispositiu per suprimir la descàrrega anormal i mantenir un funcionament estable.
9.Els valors de resistència d'aïllament entre diferents parts de la cambra de buit connectades a diferents potencials s'ajustaran a 4.4.6 de GB/T11164-1999.
10. Altres precaucions
(1) Temperatura ambient: 10-30 graus
(2) Humitat relativa: no superior al 75%
(3) Temperatura d'entrada de l'aigua de refrigeració: no superior a 25 graus
(4) Qualitat de l'aigua de refrigeració: aigua de l'aixeta municipal o aigua de qualitat equivalent.
(5) Font d'alimentació: 380V trifàsica 50Hz o 220V monofàsica 50Hz (segons els aparells elèctrics utilitzats); rang de fluctuació de tensió: 342-399V o 198-231V; rang de fluctuació de freqüència: 49-51 Hz.
(6) La pressió, la temperatura i el consum d'aire comprimit, nitrogen líquid, aigua freda, aigua calenta, etc., requerits per l'equip s'han d'especificar al manual d'instruccions del producte.
(7) L'entorn circumdant de l'equip ha d'estar net i l'aire ha d'estar lliure de pols o gasos que puguin causar corrosió de components elèctrics o altres peces metàl·liques, o conducció entre metalls.
