El revestiment d'ions utilitza la descàrrega de gas en condicions de buit per ionitzar el gas o el material evaporat. Sota el bombardeig d'ions de gas o ions de material evaporant, el material evaporat o els seus reactius es dipositen a la peça de treball. Això inclou el revestiment d'ions per polverització catòdica de magnetrón, el revestiment d'ions reactius, el revestiment d'ions de descàrrega de càtode buit (evaporació de càtode buit) i el revestiment d'ions d'arc multi- (revestiment d'ions d'arc catòdic). El revestiment d'ions combina tecnologia de descàrrega brillant i plasma amb evaporació al buit, millorant significativament el rendiment del recobriment i ampliant la seva aplicació. A més de compartir els avantatges de la pulverització al buit, el revestiment d'ions ofereix una forta adhesió a la pel·lícula, excel·lents propietats de difracció i una àmplia gamma de materials de revestiment.
En conseqüència, ha experimentat un ràpid desenvolupament tant a nivell nacional com internacional en els darrers anys. El principi bàsic del revestiment d'ions és ionitzar el vapor de metall o d'aliatge mitjançant la descàrrega de resplendor o arc d'un gas inert. El revestiment d'ions implica l'escalfament, l'evaporació i la deposició del material de recobriment (com TiN i TiC).
A mesura que els àtoms del material de recobriment evaporat travessen la zona de resplendor, una petita part s'ionitza i, sota la influència del camp elèctric, vola cap a la peça de treball, colpejant la superfície amb energies de diversos milers d'electrons volts. Poden penetrar el substrat a una profunditat de diversos nanòmetres, millorant significativament l'adhesió del recobriment. Els àtoms de material evaporat unificat es dipositen directament sobre la peça de treball per formar una pel·lícula. La pulverització d'ions de gas inert i ions de material de recobriment a la superfície de la peça també elimina els contaminants, millorant així l'adhesió.
Les tecnologies utilitzades per les màquines de recobriment al buit d'ions, les màquines de recobriment per evaporació i les màquines de recobriment de magnetrons són diferents. Aquests principis de tecnologia de recobriment també tenen els seus propis avantatges. Es poden seleccionar diferents mètodes de recobriment segons la peça de recobriment i la capa de pel·lícula per satisfer la demanda del mercat.
