Els equips de Magnetron Sputtering tenen un paper clau en molts camps com el tractament de la superfície de material i la preparació de pel·lícules. El manteniment diari és essencial per assegurar el funcionament estable dels equips, ampliar la seva vida útil i assegurar la qualitat de la pel·lícula espantada. A continuació, s’elaboraran sobre els punts clau del manteniment diari d’equips de sputter de magnetrons.
Manteniment del sistema de buit
1. Manteniment de la bomba de buit: la bomba de buit és el component central del sistema de buit dels equips de sputtering de magnetrons. Comproveu regularment el nivell d’oli de la bomba de buit per assegurar -vos que el nivell d’oli estigui dins del rang normal. Després de l’ús a llarg termini, el rendiment de l’oli de la bomba de buit es deteriorarà a causa de l’adsorció d’impureses i humitat. Generalment, l’oli de la bomba de buit s’ha de substituir cada període de funcionament determinat (per exemple, 2000 hores). Al mateix temps, presteu atenció per comprovar la tensió del cinturó de la bomba de buit. Un cinturó massa fluix farà que la velocitat de la bomba de buit sigui inestable i afecti l’eficiència d’escapament; Massa estret pot accelerar el desgast del cinturó. Si el cinturó mostra signes de desgast o envelliment, s’hauria de substituir a temps.
2. Neteja de canonades de buit: la canonada de buit és el canal que connecta la bomba de buit i la cambra de sputtering, que és fàcil d’absorbir pols, impureses i partícules generades durant el procés d’esputing. Utilitzeu regularment una eina de neteja de canonades de buit per netejar l’interior de la canonada per eliminar les impureses adjuntes. Per a les parts difícils de netejar, es pot utilitzar la purga de gas, però cal assegurar -se la neteja del gas de purga. A més, comproveu la tensió de la canonada per veure si hi ha alguna fuga. Una petita fuga pot fer que el grau de buit no arribi a l’Estat ideal, afectant l’efecte que es produeix. Es pot utilitzar un detector de fuites de masses d’heli per detectar fuites a la canonada i es poden reparar les fuites a temps.
3. Calibració del calibre de buit: el calibre de buit s’utilitza per mesurar el grau de buit del sistema de buit i la seva precisió de mesura està directament relacionada amb el judici de l’operador de l’estat de funcionament de l’equip. Calibra regularment el calibre de buit i, generalment, es recomana calibrar -lo una vegada cada sis mesos o un any. El procés de calibració s’ha de dur a terme d’acord amb el manual de funcionament proporcionat pel fabricant d’equips, i s’ha d’utilitzar els equips de calibració estàndard per assegurar -se que les dades de grau de buit mesurades pel calibre de buit són exactes i fiables.
Manteniment de l'objectiu de Sputtering
1. Neteja de superfície objectiu: durant el procés de sputtering, els productes i les impureses es dipositaran gradualment a la superfície objectiu, afectant la taxa de ramaderia i la qualitat del film. Després de cada ús de l'equip, la superfície objectiu s'ha de netejar a temps. Per a objectius metàl·lics, es pot utilitzar un pinzell especial de neteja d’objectius per eliminar suaument els dipòsits de superfície; Per a alguns objectius més sensibles, com ara objectius ceràmics, cal un mètode de neteja més suau, com ara eixugar -se suaument amb un drap suau net submergit en una quantitat adequada d’agent de neteja especial. Eviteu utilitzar eines afilades per ratllar la superfície de l'objectiu per evitar danyar l'objectiu.
2. Inspecció d’instal·lació de destinació: comproveu regularment la instal·lació de l’objectiu per assegurar -vos que l’objectiu estigui fermament instal·lat. L’objectiu serà bombardejat per ions d’alta velocitat durant el procés de sputtering. Si no s’instal·la fermament, pot fer que l’objectiu s’agiti o fins i tot caigui, cosa que no només afectarà l’efecte de sputtering, sinó que també danyarà l’equip. Comproveu si la connexió entre l'objectiu i l'alimentació de la sputtering és bona. La soltera de la connexió pot fer que el procés de sputtering sigui inestable i causi fenòmens anormals com la brotació. Si la connexió es troba solta, els cargols de connexió s’han d’apretar a temps.
3. Monitorització de la vida del servei objectiu: diferents tipus de materials objectiu tenen la seva vida útil específica. Presta molta atenció al temps de transmissió i a l’efecte de l’objectiu de l’objectiu. Quan la taxa de transmissió de l'objectiu baixa significativament i la qualitat de la pel·lícula fluctua, pot significar que l'objectiu estigui a prop de la seva vida útil. Substituïu el material objectiu a temps per assegurar l'estabilitat del procés de sputtering i la consistència de la qualitat de la pel·lícula. Al mateix temps, registreu el temps d’ús i els paràmetres relacionats del material objectiu per proporcionar una base per a la substitució de materials objectiu posterior i l’avaluació del rendiment.
Manteniment del sistema elèctric
1. Inspecció d’alimentació d’alimentació: l’alimentació d’energia dels equips de sputter de magnetrons proporciona energia per al procés de sputtering i la seva estabilitat és crucial. Comproveu regularment si la tensió de sortida i el corrent de l’alimentació es troben dins del rang normal. Podeu utilitzar instruments de mesurament elèctric professionals per detectar l’alimentació per comprovar si els paràmetres de sortida són coherents amb els valors de configuració de l’equip. Si es troba que la tensió o el corrent de sortida fluctuen anormalment, s'hauria d'investigar ràpidament la causa. Pot ser una falla en els components interns de la font d'alimentació o un problema amb la connexió de línia. A més, comproveu la dissipació de calor de l’alimentació per assegurar -vos que l’alimentació pot dissipar la calor normalment durant el funcionament. L’alimentació generarà molta calor quan treballi durant molt de temps. Si la dissipació de calor és pobra, pot causar danys als components. Netegeu la pols del radiador d’alimentació per assegurar -vos que el ventilador de refrigeració funciona normalment.
2. Manteniment del circuit elèctric: comproveu si el circuit elèctric dins de l’equip està envellit o danyat. Després de l’ús a llarg termini, el circuit elèctric pot tenir problemes com l’envelliment de la capa d’aïllament i els danys del filferro, cosa que comportarà riscos de seguretat i afectarà el funcionament normal de l’equip. Per a l’envelliment o els circuits danyats que es troben, s’han de substituir a temps. Al mateix temps, assegureu -vos que la connexió de la línia sigui ferma per evitar que la solta causi un mal contacte. Els punts de connexió solts poden generar espurnes durant el funcionament de l'equip, danyar components dels equips o fins i tot causar incendi. Aprofiteu els cargols dels punts de connexió de la línia regularment i comproveu el contacte entre el tap i la presa.
3. Manteniment del sistema de control: el sistema de control de l'equip és responsable de controlar i ajustar diversos paràmetres del procés de sputtering. Feu una còpia de seguretat de les dades del sistema de control regularment per evitar la pèrdua de dades. Al mateix temps, comproveu si hi ha indicacions d'actualització del programari del sistema de control. Les actualitzacions puntuals de programari poden solucionar les vulnerabilitats conegudes i millorar l'estabilitat i la funció del sistema. A més, netegeu la interfície de funcionament del sistema de control per assegurar -vos que els botons i la pantalla de visualització funcionen correctament, i l’operador pot introduir amb precisió els paràmetres i obtenir informació sobre funcionament d’equips.
Manteniment del sistema de refrigeració
1. Inspecció de refrigerant: el sistema de refrigeració s’utilitza per reduir la calor generada per l’equip durant el funcionament. El refrigerant és el medi clau del sistema de refrigeració. Comproveu el nivell de refrigerant regularment per assegurar -vos que el nivell estigui dins del rang normal. El nivell de refrigerant baixarà a causa de l’evaporació, les fuites, etc., durant l’ús a llarg termini. Un nivell massa baix afectarà l'efecte de refrigeració. Al mateix temps, comproveu la qualitat del refrigerant i observeu si el refrigerant està descolorit, turbid o té una olor. Si el refrigerant es deteriora, s’hauria de substituir a temps. Generalment es recomana substituir el refrigerant cada 1-2 anys. El cicle de substitució específic es pot determinar segons l’ús de l’equip i les recomanacions del fabricant.
2. Manteniment de la canonada de refrigeració: comproveu si la canonada de refrigeració està bloquejada. L’interior del tub de refrigeració pot estar bloquejat a causa de l’acumulació d’escala, impureses, etc., que afecta el flux normal del refrigerant. La canonada es pot netejar mitjançant neteja química o neteja física. La neteja química pot utilitzar un agent especial de neteja de canonades, però presteu atenció a la concentració de l’agent de neteja i al temps de neteja per evitar la corrosió a la canonada. La neteja física es pot dur a terme mitjançant el rentat de pistola d’aigua d’alta pressió i altres mètodes. A més, comproveu el segellat del tub de refrigeració per evitar fuites de refrigerant. Si es troba una fuita a la canonada, les peces de canonada danyades s’han de reparar o substituir a temps.
3. Inspecció d’equips de refrigeració: comproveu la bomba d’aigua, el radiador i altres equips del sistema de refrigeració. Assegureu -vos que la bomba d’aigua funciona normalment. L’impulsor de la bomba d’aigua pot afectar la capacitat de bombament a causa del desgast. Si es troba que la bomba d’aigua es bomba anormalment, la bomba d’aigua s’ha de reparar o substituir a temps. Comproveu si les aletes de la dissipació de calor del radiador estan bloquejades, netegeu la pols i les deixalles a les aletes del dissipador de calor i assegureu -vos que el radiador pugui dissipar efectivament la calor. Al mateix temps, comproveu el funcionament del ventilador de refrigeració per assegurar -vos que el ventilador pot proporcionar aire de refrigeració per al radiador normalment.
Neteja d’equips i manteniment ambiental
1. Neteja de superfície dels equips: netegeu regularment la superfície dels equips de sputter de magnetrons per eliminar la pols, l’oli i altres contaminants. Podeu utilitzar un drap suau net per submergir -vos en una quantitat adequada de detergent i netejar suaument la superfície de l'equip. Per a algunes taques tossudes, podeu utilitzar un netejador especial d’equips, però tingueu cura d’evitar que el detergent entri a l’interior de l’equip. Després de la neteja, netegeu la superfície de l’equip amb un drap net per mantenir l’aspecte de l’equip net.
2. Entorn de treball net: l’entorn de treball de l’equip també té un impacte important en el seu rendiment i la seva vida. Manteniu l’entorn de treball net, netegeu la pols a terra regularment i eviteu que hi hagi massa pols que entri a l’equip. Controleu la temperatura i la humitat de l’entorn de treball. Generalment, els equips de Sputtering de Magnetron són adequats per treballar en un entorn amb una temperatura de 20-25 i una humitat relativa del 40%-60%. Es poden instal·lar equips de climatització i deshumidificació per ajustar la temperatura i la humitat ambientals. A més, assegureu -vos que l’entorn de treball estigui ben ventilat per evitar l’acumulació de calor i gas d’escapament generat durant el funcionament de l’equip.
En resum, el manteniment diari d’equips de sputtering de magnetrons cobreix múltiples aspectes com ara el sistema de buit, l’objectiu de sputtering, el sistema elèctric, el sistema de refrigeració, la neteja d’equips i el manteniment ambiental. Els operadors han de seguir estrictament el manual de manteniment del fabricant d’equips per a un manteniment regular, descobrir i resoldre ràpidament problemes potencials, per tal d’assegurar el funcionament estable dels equips, millorar la vida útil dels equips i millorar així la qualitat i l’eficiència de producció de la pel·lícula espantada.
