1. Neteja de calefacció al buit
La peça s’escalfa sota pressió normal o buit per evaporar les impureses volàtils a la seva superfície per aconseguir el propòsit de netejar. L’efecte de neteja d’aquest mètode està relacionat amb la pressió ambiental de la peça, la longitud del temps de retenció de buit, la temperatura de calefacció, el tipus de contaminants i el material de la peça. El principi és escalfar la peça per promoure la millora de la desorció de les molècules d’aigua i diverses molècules d’hidrocarburs adsorbides a la seva superfície. El grau de millora de la desorció depèn de la temperatura. En el buit ultra alt, per obtenir una superfície neta atòmicament, la temperatura de calefacció ha de ser superior a 450 graus i el mètode de neteja de calefacció és especialment eficaç. Però de vegades aquest mètode té efectes secundaris. Com a resultat de la calefacció, alguns hidrocarburs poden polimeritzar -se en agregats més grans i descompondre's en escòries de carboni alhora.
2. Neteja d’irradiació ultraviolada
Utilitzeu la radiació ultraviolada per descompondre els hidrocarburs a la superfície. Per exemple, l’exposició a l’aire durant 15 hores pot produir una superfície neta de vidre. Si es col·loca una superfície correctament netejada en una font ultraviolada que produeix ozó, triguen diversos minuts a formar una superfície neta (neteja de processos), cosa que demostra que la presència d’ozó millora la velocitat de neteja. El mecanisme de neteja és que, sota la irradiació ultraviolada, les molècules de brutícia s’emocionen i es dissocien i la generació i la presència d’ozó produeixen oxigen atòmic altament actiu. Les molècules contaminants emocionades i els radicals lliures generats per la dissociació de contaminants reaccionen amb l’oxigen atòmic per generar molècules relativament simples i volàtils, com H203, CO2, N2, etc. La velocitat de reacció augmenta amb l’augment de la temperatura.
3. Neteja de descàrrega
Aquest mètode de neteja s’utilitza àmpliament en la neteja i la desgasificació de sistemes de buit alt i de buit ultra-alts, especialment en equips de recobriment de buit. Utilitzant cables o elèctrodes calents com a fonts d’electrons i aplicant biaix negatiu a la superfície relativa a netejar, es pot aconseguir la desorció de gas i l’eliminació d’alguns hidrocarburs per bombardeig iònic. L’efecte de neteja depèn del material de l’elèctrode, de la geometria i de la seva relació amb la superfície, és a dir, del nombre d’ions per unitat de superfície i de l’energia d’ions, i depèn així de la potència elèctrica efectiva. Quan la cambra de buit s’omple amb un gas inert (normalment gas AR) a una pressió parcial adequada, el bombardeig d’ions generat per descàrrega de resplendor de baixa pressió entre dos elèctrodes adequats es pot utilitzar per netejar la cambra de buit. En aquest mètode, el gas inert és ionitzat i bombardeja la paret interior de la cambra de buit, altres components estructurals de la cambra de buit i el substrat. Alguns hidrocarburs es poden netejar millor si s’afegeix oxigen al gas farcit. Com que l’oxigen pot oxidar alguns hidrocarburs per formar gasos volàtils, es pot excloure fàcilment del sistema de buit. Els components principals de les impureses a la superfície dels envasos alts d’acer inoxidable i els contenidors de buit ultra-alts són el carboni i els hidrocarburs. En circumstàncies normals, el carboni no es pot volar sol. Després de la neteja química, cal introduir gas mixt AR o AR + 02 per a la neteja de descàrrega de brillantor. En la neteja de descàrrega de brillantor, els paràmetres més importants són el tipus de tensió aplicada (AC o CC), que s’utilitza per netejar la superfície del colorant i el gas que s’enllaça químicament a la superfície, la tensió de descàrrega, la densitat de corrent, el tipus de gas i la pressió, el temps de bombardeig, la forma de l’elèctrode, el material i la posició de les parts a netejar, etc.
Iv. Renovament de gas
1. Amoníac Flushing
Quan el nitrogen s’adsorbeix a la superfície del material, l’energia d’adsorció és molt petita, de manera que el temps d’adsorció a la superfície és molt curt i, fins i tot si s’adsorbeix a la paret del dispositiu, es pot bombar fàcilment. Utilitzant aquesta característica de l’amoníac per arrossegar el sistema de buit pot reduir el temps de bombament del sistema. Si la màquina de recobriment de buit s’omple de nitrogen sec abans de posar -se a l’atmosfera, el temps de bombament del següent cicle de bombament es pot escurçar gairebé la meitat, perquè l’energia d’adsorció del nitrogen és molt menor que l’energia d’adsorció de les molècules de vapor d’aigua Mur de la cambra de buit. Com que els llocs d’adsorció són certs i s’omplen de molècules de nitrogen primer, hi ha poques molècules d’aigua adsorbides, que redueixen el temps de bombament. Si el sistema està contaminat per esquitxa de petroli de la bomba de difusió, el sistema contaminat també es pot netejar mitjançant el rentat de nitrogen. Normalment, en coure i escalfar el sistema, el sistema es pot arrossegar amb nitrogen per eliminar la contaminació del petroli.
2. Flushing de gas reactiu
Aquest mètode és particularment adequat per a la neteja interna de grans sistemes de buit d’acer inoxidable ultra-alts (eliminant la contaminació d’hidrocarburs) i sol ser adequat per a les cambres de buit i components de buit d’alguns sistemes de buit ultra-alts. Per obtenir una superfície neta en estat atòmic, el mètode estàndard per eliminar la contaminació de la superfície és la neteja química, la cocció del forn de buit, la neteja de descàrrega de brillantor i el sistema de buit amb energia atòmica. Els mètodes de neteja i degassing anteriors s’utilitzen sovint abans i durant la instal·lació del sistema de buit. Després que el sistema de buit estigui instal·lat (o després que el sistema estigui en funcionament), és difícil desfer -lo perquè els diversos components ja estan fixats. Una vegada que el sistema està contaminat (accidentalment) (principalment per molècules amb nombres atòmics més grans com els hidrocarburs), se sol desmuntar, reprocessar i reinstal·lar -se, mentre que el desgast en línia es pot dur a terme mitjançant un programa de gas reactiu, eliminant efectivament els contaminants d’hidrocarburs a la cambra de buit d’acer inigualable. El seu mecanisme de neteja: Introducció de gas oxidant (02, no-RRB i gas reductor (NH3 NH3) al sistema per reaccionar i netejar químicament la superfície metàl·lica per eliminar els contaminants i obtenir l’estat atòmic de la superfície metàl·lica neta. La taxa d’oxidació de la superfície/reducció depèn de les condicions de contaminació i del material de la superfície metàl·lica. La taxa de reacció de la superfície es controla per ajustar la pressió i la temperatura de la temperatura de la reacció. Els paràmetres precisos per a diferents orientacions de cristall es determinen experimentalment i aquests paràmetres són diferents.
